12月21日消息,据Cnews报导,俄罗斯已公布自主研发的光刻机路线图,目标是打造比ASML系统更经济的EUV光刻机。这些光刻机将采用波长为11.2nm的镭射光源,而非ASML 使用的标准13.5nm波长。 因此,新技术无法...
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